| 質(zhì)量等級(jí) | 包裝(采購(gòu)量區(qū)間) | 價(jià)格 | 庫(kù)存 |
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| >=99% | dot 3aa-2175 10 l5kg | 面議 | 999999 |
| >=99% | dot 3aa-2175 44 l22kg | 9999999.00元 | 999999 |
1．高純?nèi)阴７前雽?dǎo)體行業(yè)等離子刻蝕工藝中一種重要的刻蝕氣體，主要用作介質(zhì)刻蝕。
與傳統(tǒng)的CF4/O2 和C2F6/ O2相對(duì)比CF3COF/ O2可以獲得更高的F/C比。理論上，通過(guò)調(diào)節(jié)O2的濃度來(lái)調(diào)節(jié)F/C比，以達(dá)到最佳的刻蝕效果。其關(guān)鍵在于·CF3與O2有如下的反應(yīng):
CF3COF + plasma → ·CF3 +CO + F (1)
CF3· + O2 → CF3OO· (2)
CF3OO· + CF3OO· → CF3O· + O2 (3)
CF3O· → F + COF2 (4)
COF2 + plasma → CO + 2F (5)
CF3· + CF3· → CF3CF3 (6)
反應(yīng)(3)與反應(yīng)(6)是競(jìng)爭(zhēng)反應(yīng)，如果O2含量低，反應(yīng)(6)起主導(dǎo)，則F原子的收率就要下降。
三氟乙酰氟具有刻蝕速率快、高深寬比、高選擇性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)近乎垂直的刻蝕加工，為制造小體積、大容量的3D NAND閃存提供了可能；同時(shí)三氟乙酰氟環(huán)境友好，GWP < 1，大氣壽命6.9天，溫室效應(yīng)很低，是當(dāng)前兼具優(yōu)異刻蝕性能和環(huán)保性能的含氟電子刻蝕氣之一。
2．隨著全球氣候變化問(wèn)題日益凸顯，越來(lái)越多的國(guó)家提出了無(wú)碳未來(lái)的愿景。2023年，歐盟委員會(huì)和歐盟議會(huì)達(dá)成協(xié)議，到2050年，HFCs（氫氟烴）的消費(fèi)將逐步被完全淘汰。根據(jù)歐盟委員會(huì)分配的生產(chǎn)權(quán)，HFCs的生產(chǎn)將在2036年之前逐步降至最低，達(dá)到15%。針對(duì)小型家用和熱泵設(shè)備方面，從2027年開(kāi)始，歐盟將開(kāi)始全面禁止使用GWP值大于150的HFCs的小型（<12 kW）單體式熱泵設(shè)備和空調(diào)，并在2032年實(shí)現(xiàn)完全淘汰。另外，根據(jù)今年美國(guó)環(huán)保署（EPA）的最新提案，從2025年開(kāi)始，所有常見(jiàn)的較高GWP值的HFCs制冷劑，包括HFC-134a、HFC-404A、HFC-410A等，在大多數(shù)的空調(diào)中都將被禁用。因此，開(kāi)發(fā)GWP更低、穩(wěn)定、安全的制冷劑仍是制冷行業(yè)亟需解決的問(wèn)題。
三氟乙酰氟可與其他組分混合，組成一種低GWP值的制冷劑，使得組合物的GWP≤150，從而滿足碳減排、碳中和的相關(guān)要求。
